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超纯水氮封阀装置在汉洛环保应用

  • 发布日期:2023-05-29      浏览次数:268
    • 超纯水氮封阀装置在汉洛环保应用

      超纯水氮封水箱是将一定量的氮气充入密封的水箱内,水箱内氮气压力不大于K,氮气是惰性气体能防止CO等其它物质溶入水中影响水质,保证水箱内的水不受二次污染而导致水质下降。  活性炭按材料可分为螺母壳活性炭、木活性炭和煤活性炭。活性炭产品广泛应用于高纯水设备,纯净水,因为一般的常用储水罐为了维持内部与外部的压力平衡,当罐内水量减少的时候,除非使罐子被不断的压缩,不然罐内就会有空气填入其中,维持外部与内部的平衡,显然在超纯水的生产过程中,使空气进入是非常不理智的行为。常见的大气中富含各种污染物质,这类污染物质虽然对人体的影响并不是很大,但是在高精度仪器面前,它们会时刻影响实验数据,让数据出现不同程度的改变,特别是在电子级实验面前,微生物或者离子的影响都会使实验数据失效,所以采用氮封装置能很好的保证储水桶内的水质稳定。

      空气中含有二氧化碳、细菌、尘埃等杂质,而超纯水为纯的溶剂,对这些杂质的溶解能力很强,故一旦超纯水与空气接触,就会使其电阻率迅速下降,实践证明15MΩ·m以上的超纯水暴露在空气中1分钟后水质就会下降至3-4MΩ·m,3分钟以后就会下降到2MΩ·m左右,因此超纯水的储存容器需确保水体不与空气的接触。

      氮封阀由供氮装置供氮阀和泄氮装置泄氮阀两部分组成。供氮装置由指挥器和主阀两部分组成;泄氮装置由内反馈的压开型微压调节阀组成。氮气压力一般设为100mmH2O.通过氮封装置控制。

      超纯水氮封阀装置在汉洛环保应用 产品特点

      无需外加能源,能在无电、无气的场合工作,既方便,又节约能源,降低成本;
      氮封阀压力设定方便,可在连续生产的条件下进行;
      压力检测膜片有效面积大,设定弹簧刚度小,动作灵敏,装置工作平稳;
      采用无填料设计,阀杆所受摩擦力小,反应迅速,控制精度高;
      供氮装置采用指挥器操作,减压比可达100:1,减压效果好,控制精度高;
      为确保储罐的,需在罐顶设置呼吸阀;
      呼吸阀仅起作用,避免了常规氮封装置中启闭频繁易损坏的缺陷。

      超纯水设备氮封水箱的工作原理:

      超纯水设备的氮封水箱是将一定量的氮气充入密封的水箱内,水箱内氮气压力不大于80Kpa,氮气是惰性气体能防止CO2等其它物质溶入水中影响水质,保证水箱内的水不受二次污染而导致水质下降。

      氮封装置由快速泄放阀及微压调节阀两大部分组成,而快速泄放阀由压力控制器及单座切断阀组成,当储罐内压力升高至设定压力时,快速泄放阀迅速开启,将罐内多余压力泄放。微压调节阀是在储罐内压力降低时,开启阀门,向罐内充注氮气。因微压调节阀必须使用在压力为0.1Mpa压力以下,现场N2压力较高,必须安装压力调节阀将压力降低至0.1Mpa以下才可使用。

      氮封阀002.png

      广东汉洛环保科技有限公司系统主要采用预处理+反渗透+电去离子(EDI)+抛光混床超纯水处理技术,前置预处理加反渗透处理,有效去除水中各种盐份及杂质,然后运用CEDI及抛光混床系统,进一步提升水质,使出水达到用水工艺要求。电子行业的产品生产中需要用到的水是超纯水,比如单/多晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线柜架、集成电路、 液晶显示器、导电玻璃、电池(蓄电池)、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器、洁净产品及各种元器件等,电子行业生产工艺用纯水基本是1-18Ω﹒cm范围的水。

      序号

       

      型 号 及 规 格

      单位

      数量

      单 价

      (元)

      金 额

      (元)

      阀体材质及其它

      1

      氮封阀

      氮封阀ZZYVP-II DN25 PN16

      进口压力 0.3-0.8 MPA,

      出口压力1 KPA

      2



      WCB

      2

      泄压阀

      泄压阀ZXD-10   DN25    PN16

      起跳压力2KPA

      2



      WCB

      3

      呼吸阀

      呼吸阀ZFQ  DN50 PN10

      正压:3KPA

      负压:-298PA

      2



      WCB

      压力可按要求分段设定,从0.5Kpa至60 Kpa以下。

      微压调节阀压力调节范围内选定一设定值 如:3Kpa。

      泄氮设定值的设定应远离供氮压力值,如:8Kpa。

      具体压力的设定值要根据纯水系统的产水量和水箱容量大小来确定选择。

      氮气 (N2)的纯度为99.999%以上。

      氮封阀018.png

      超纯水氮封阀装置在汉洛环保应用主要技术参数

      公称通径(mm)2025405080100150
      阀座直径(mm)61520253240506580100125150
      额定流量系数Kv3.2581020325080100160250400
      压力调节范围0.5~70 20~120 60~400 300~700 500~1000 KPa
      公称压力PN1.0、1.6 MPa
      被调介质温度80、200 ℃
      流量特性快开型
      调节精度≤5%
      允许压降(MPa)1.61.61.10.60.4
      薄膜有效面积(C㎡)200280400
      允许泄漏量符合ANSIB16.104—1976 IV级
      阀盖形式标准型 (整体式)
      压盖型式螺栓压紧式
      密封填料V型聚四氟乙烯填料、含浸聚四氟乙烯石棉填料、石棉纺织填料、石墨填料
      阀芯形式单座型阀芯
      流量特性直线性

      超纯水氮封阀装置在汉洛环保应用处理超纯水与空气接触的方法:

      充氮法:即在水箱水面上充入氮气使箱内维持适当的正压力,阻止大气与箱内水面接触。

      薄膜袋法:即在在水箱内设置袋状薄膜覆盖于水面上,薄膜袋随水位升降,减少水面与空气接触面积。    

      浮顶法:即以密度比水轻的轻质材料在水箱内制成整块板状浮顶浮于水面,并用轻质弹性材料(如海绵、发泡塑料等)遮盖浮顶与箱间的间隙,浮顶随水面升降。从而减少空气与水面的接触机会。

      在上述三种方法中又以氮封水箱常见,实施简单,效果好。

      氮封系统.jpg

      1 超纯水氮封阀装置在汉洛环保应用工艺特点

      在储罐上设置氮封系统,维持罐内气相空间压力在2.5KPa左右,当气相空间压力高于2.5KPa时,氮封阀关闭,停止氮气供应;当气相空间压力低于2.5KPa时,氮封阀开启,开始补充氮气,保证储罐在正常运行过程中不吸进空气,防止空气中的尘埃、CO2等污染物进入DI水中形成二次污染。

      1)在每台储罐上设置先导式氮封阀组和溢流水封箱,正常情况下使用氮封阀组维持罐内气相空间压力在2.5KPa左右,当气相空间压力高于2.5KPa时,氮封阀关闭,停止氮气供应;当气相空间压力低于2.5KPa时,氮封阀开启,开始补充氮气。

      2)当氮封阀需要检修或故障时:

      在负压低于-0.85Kpa时,溢流管水封箱从防负压口吸入空气,防止负压过高导致水箱吸扁;在压力高于3KPa时,通过溢流管水封箱的溢出口外排多余的氮气,防止水箱膨胀破裂,以防止事故扩大。

      3)当DI水箱液位器需要检修或故障时:

      如DI水箱的液位器出现异常时,水箱满水通过溢流管水封箱的溢出口外排多余的水,防止水箱膨胀破裂,以防止事故扩大。

      2 超纯水氮封阀装置在汉洛环保应用安装布置

      1)氮封阀、调压阀及压力表的安装位置宜安装于标高1.0m左右,便于日常维护。气体流量计的安装位置宜安装于标高1.5m左右,便于日常观察。

      2)罐顶氮气接口的开口方位宜位于罐顶中心部位,氮气管道在氮封阀之前采用SS304洁净管,之后采用UPVC洁净管。

      3)溢流管水封箱就地安装,其相应的底部溢出口接管尽可能的排至室外或通风的地方,防止室内氮气浓度过高。

      超纯水氮封阀装置在汉洛环保应用

      氮封装置由供氮装置和泄氮装置两部分组成。供氮装置由指挥器和主阀两部分组成;泄氮装置由内反馈的压开型微压调节阀组成。氮气压力一般设为100mmH2O,通过氮封装置控制。当水箱上游水泵开启,向超纯水水箱补水时,水箱水位上升,气相部分容积减小,压力升高,当水箱上部气体空间压力升至高于泄氮装置压力设定值时,泄氮装置打开,向外界释放氮气,使罐内压力下降,当降至泄氮装置压力设定点时,泄氮装置自动关闭。当水箱后级水泵开启,用户端开始用水时,液面下降,气相部分容积增大,罐内压力降低,供氮装置开启,向储罐注入氮气,使罐内压力上升,当罐内压力上升至供氮装置自动关闭。

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