电子超纯水的氮封阀门优化方案

电子超纯水的氮封阀门优化方案本实用新型属于超纯水氮封装技术领域，具体涉及一种用于电子超纯水的氮封系统。指挥器操作型自力式压力调节阀(以下简称调压阀),是一种无需外来能源，利用被控介质自身能量作动力源，引入指挥器的检测执行机构，以控制调压阀的阀芯位置，改变流经阀门的介质流量，使阀后压力保持在恒定值。该阀的特点:压力设定值可在指挥器上实现，在运行中可随意调整,因而方便、快捷、省力；控制精度比一般调压阀高一倍左右；减压比大;设定压力低等。

电子超纯水的氮封阀门优化方案背景技术：
在范围内，新材料不断研发和进步，对水的需求越来越高，同时，水资源日趋匮乏也是企业所面临的现状，因此，水技术市场的发展前景是*的。
纯水和超纯水的生产便是其中非常重要的组成部分。在电子半导体行业的生产工序中需要用到大量的超纯水进行冲洗，edi系统制取出的超纯水需要进行封存，不能与空气接触，否则空气中的co2、o2和杂质会因接触水体而影响水质。

一种纯水系统的氮气节能装置，包括纯水箱，氮气进气管及补水管，所述纯水箱还通过水箱溢流管与水封桶的水箱连接管相连，还设置有进水阀和液位计，其通过液位传感器与纯水箱外部的液位控制器相连接，达到节约氮气消耗量的目的，通过在纯水水箱中设置的氮封阀等氮封系统，使水箱内氮气的气相空间压力维持在2.5kpa左右，当气相空间压力高于2.5kpa时，氮封阀关闭，停止氮气供应；当气相空间压力低于2.5kpa时，一种纯水系统的氮气节能装置，采用空气减压阀、电磁阀的设置，通过微调压力表，用来检测氮封水箱中的氮气压力，根据氮封水箱氮气压力控制，调节氮气输出。
调压阀由指挥器、主阀、节流阀、过滤减压器所组成(见图一)。介质由箭头方向进入阀体,经阀芯、阀座节流后输出。同时阀前介质经过滤减压器过滤减压后进入指挥器阀体，经指挥器调节后进入主阀执行机构上下膜室。阀后介质经接管引入指挥器检测膜室，当输出压力升高时，经指挥器和节流阀作用关闭主阀,直到阀后压力降低到设定值为止。同理，当输出压力降低时，经指挥器和节流阀作用开启主阀,直到阀后压力上升到设定值为止。

技术实现要素：
针对上述问题，本实用新型提供一种用于电子超纯水的氮封系统，用于edi系统制取的超纯水的封存，通过设置比例调节阀的开度与外供泵的流量联锁控制，可根据外供泵的流量大小，控制比例调节阀的开度，调节进入氮封水箱的通道，终达到一个氮封水箱液位恒定的目的，达到节省高纯氮气的目的。

本实用新型解决上述问题的技术方案如下：
用于电子超纯水的氮封系统，包含有：
一纯水产水装置，用于制造纯净水；
一氮封水箱，用于承接、存放所述纯水产水装置所制造的纯净水；
一氮气气源，用于提供所述氮封水箱实现氮封所需的氮气；
一外供管路，其上设置有至少一个外供泵，用于将所述氮封水箱内的纯净水向外输送；
一比例调节阀，设置于所述纯水产水装置与所述氮封水箱相连通的管路上，所述比例调节阀还与副容器相连通；
一plc控制系统，其将所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度输出值与所述外供泵的流量输出值相联锁。

所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度输出值与所述外供泵的流量输出值通过控制器相联锁，所述控制器可以为单片机，其一个控制端与所述比例调节阀相连，另一个控制端与所述外供泵相连，当所述外供泵的流量增大时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度增大（流向副容器的流量减小），当所述外供泵的流量减小时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度减小（流向副容器的流量增大）。
作为上述技术方案的优选，所述氮封水箱上设置有一液位计，所述液位计通过设置于所述氮封水箱内的液位传感器输出液位数据。
作为上述技术方案的优选，所述plc控制系统将所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度输出值与所述液位传感器输出液位数据相联锁。
所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度输出值与所述液位传感器输出液位数据通过控制器相联锁，所述控制器可以为单片机，其一个控制端与所述比例调节阀相连，另一个控制端与所述液位传感器相连，当所述液位传感器输出液位数据升高时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度增大（流向副容器的流量减小），当所述液位传感器输出液位数据降低时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度减小（流向副容器的流量增大）。
作为上述技术方案的优选，所述氮气气源与所述氮封水箱相连通的管路上依次设置有减压阀和氮封阀。
作为上述技术方案的优选，所述比例调节阀为一个三通阀，分别与所述纯水产水装置、所述氮封水箱和所述副容器相连通。
作为上述技术方案的优选，所述纯水产水装置为edi产水装置。
作为上述技术方案的优选，所述副容器为一级反渗透产水箱。
作为上述技术方案的优选，所述氮封水箱的上部设置有水封管路，所述水封管路的出口与水封箱相连通。
作为上述技术方案的优选，所述氮封水箱的顶部设置有呼吸阀。
作为上述技术方案的优选，所述氮封水箱的底部设置有排放管路，所述排放管路连通有排放水箱。
综上所述，本实用新型具有以下有益效果：
本申请提供一种用于电子超纯水的氮封系统，用于edi系统制取的超纯水的封存，通过设置比例调节阀的开度与外供泵的流量联锁控制，可根据外供泵的流量大小，控制比例调节阀的开度，调节进入氮封水箱的通道，终达到一个氮封水箱液位恒定的目的，达到节省高纯氮气的目的。

安装与维护
3.1安装
Ø 安装前应检查产品型号、规格是否符合要求，管道应进行清洗，清除焊渣与杂物等，阀门应正立、垂直安装在管道上，介质流向应与阀体箭头一致。如有可能应设置旁通阀。
Ø 为确保调压阀正常工作，在阀前应设置过滤器、压力表与手控阀，安装图见图二。
3.2 使用
Ø 缓慢将调节阀前、后截止阀开到大，此时因介质引入调节阀，可观察压力表示值。
Ø 逐渐关闭旁通阀，打开壳罩，并调整弹簧预紧力，直到压力表示值达到工艺要求为止。
Ø 锁紧螺母，盖上壳罩。

3.2 维护保养
该装置投入正常运行后无需特殊维护,但需定期对指挥器、节流阀和过滤减压器进行清洗,若出现故障，按表四进行处理。所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度输出值与所述液位传感器输出液位数据通过控制器相联锁，所述控制器可以为单片机，其一个控制端与所述比例调节阀相连，另一个控制端与所述液位传感器相连，当所述液位传感器输出液位数据升高时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度增大（流向一级反渗透产水箱的流量减小），当所述液位传感器输出液位数据降低时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度减小（流向一级反渗透产水箱的流量增大）。