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气动高真空挡板阀设计规范

  • 发布日期:2020/11/25      浏览次数:1979
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    气动高真空挡板阀设计规范的工作原理是阀板通过阀杆做上下运动而实现密封的。驱使阀杆运动的传动部件有手动、手电两动、气动三种方式。手动传动部件,以螺纹结构为主,也可以采用平凸轮结构。图1和图2分别为直角式、直通式真空挡板阀结构示意图。手动两用的传动部件,由电动机、蜗轮、蜗杆组成,并装有行程开关。计算出了选择挡板阀气缸缸筒直径和活塞杆直径的选择及计算确定方法,为高真空挡板阀气缸及活塞杆直径的选取提供了参考。气动超高真空挡板阀,通过使用者操作电磁阀控制空气进入气缸,空气进入气缸从而带动气缸运动,气缸运动从而带动通过弹性圆柱销带动阀板部件运动,阀板部件运动从而实现阀板部件对阀体部件内气体的通断,通过阀体部件运动来控制阀体部件内气体的通断,从而增加了阀体部件的密闭性,增强了挡板阀工作的稳定性,保证了挡板阀的使用寿命,降低了挡板阀的更换次数.超高真空挡板阀用于接通或切断超高真空系统管路中的气流,有气动、手动两种驱动方式。气动阀是通过电磁换向阀改变气流方向来控制气缸运动,达到阀门启闭;手动阀是以人工转动手柄为动力通过螺纹传动实现阀门开闭。适用于介质为空气及非腐蚀性气体的场合。高真空挡板阀用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。高真空挡板阀按轴封结构可分GD-J型橡胶轴封和GD-J(b)型波纹管轴封两种。按通导形式可分GD-J为角通型式,GD-S为带预抽口的三通型式。

    主要零件材料阀体、阀盖、阀杆:铝合金、碳钢或不锈钢
    密封件:橡胶、氟橡胶、波纹管(轴封)。

    气动高真空挡板阀设计规范适用范围:
    1×10-6Pa~1.2×105Pa(波纹管密封)
    1×10-5Pa~1.2×105Pa(氟胶圈密封)

     主要技术指标: 

    适用范围:1×105 Pa ~ 1.3×10-7 Pa;

    漏率:≤1.3×10-10  Pa.m3/s; 

    工作介质:空气、水蒸气、非腐蚀性气体;

    烘烤温度:

    — 打开:≤200℃;

    — 关闭:≤150℃;

    压缩空气:0.4 ~0.7MPa;

    电源:AC220V 50Hz,6W 或者 DC24V,3W(可选); 

    安装位置:任意。  

    阀门位置指示:

    手动:带有行程控制销钉;气动:带有启闭位置指示磁性开关。

    气动高真空挡板阀设计规范

    当接通电源后,电动机按某一方向(如开启方向)旋转,通过蜗轮、蜗杆带动阀杆向上运动使阀板上升,当阀上升到一定高度时,行程开关自动切断电源,阀杆运动立即停止,反之亦然。手动时,松开手轮背帽,用手按一定方向转动手轮即可,图3为GDD型手、电两用真空挡板阀外形图。

    气动传动部件以压缩干燥空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向,推动汽缸活塞上下运动,带动阀杆上下运动,使阀板开启关闭,从而达到接通或停止气流的目的。


    真空挡板阀有高真空挡板阀和超高真空挡板阀两种。高真空挡板阀用于高真空系统接通或截止气流。适用压力范围:轴封为橡胶时为1.3×10-4~105Pa;轴封为波纹管结构时为1.3×10-5~105Pa。工作介质温度:-25~80℃(密封件为橡胶);-30~150℃(密封件为氟橡胶)。阀体材料:碳钢镀镍或不锈钢;阀板密封材料橡胶或氟橡胶。

    超高真空挡板阀用于超高真空系统接通或截止气流。适用压力范围为1.3×10-3~105Pa。阀门开启状态,烘烤温度小于400℃;阀体材料为不锈钢;阀板材料为无氧铜;轴封处密封件材料为不锈钢波纹管。这两种真空挡板阀使用的工作介质为洁净的空气或对阀门无腐蚀的干净气体。不适合用在对金属有强腐蚀性和含有颗粒状态灰尘的气体情况下使用。

    高真空挡板阀由于具有密封可靠、流导大、安全性好以及可手控、电控、气控等特点,形式多样,规格齐全,公称尺寸DN150~1200,结构合理等,因此,被广泛用于大、中型多种高真空装置的真空系统之中,如用于真空镀膜设备,真空热处理炉、真空钎焊、高真空电子束焊机、离子束刻蚀设备、空间环模设备等。