GU型高真空(压力)球阀操作应用案例
GU型高真空(压力)球阀用于接通或切断真空(压力)系统管路中的介质流。应用于真空、乳制品、酒业、生物工程、食品、制药、饮料、化妆品及化工领域。真空阀门是指在真空系统中,用来改变气流方向,调节气流量大小,切断或接通管路的真空系统元件,是指工作压力低于标准大气压的阀门。真空阀门关闭件是用橡胶密封圈或金属密封圈来密封的。
在半导体领域内,主要的应用有链接大气和腔室之间的门阀,腔室之间的传输阀,腔室和泵之间的插板阀或者摆阀。
法兰连接是高真空阀门最常见的连接方式,法兰主要有三种,CF法兰、KF法兰、ISO法兰,对应的阀门一般称作CF高真空阀门、KF法兰阀门、ISO法兰阀门。那么它们之间又有什么区别呢?
1、CF真空法兰
CF法兰的英文名是(ConflatFlang)。它是一种用于超高真空中的法兰连接,是一种金属静密封,可以承受高温烘烤的真空法兰。
公称直径尺寸包括:DN16、40、63、100、160、200、250
适用的真空度高达:10-12mbar
法兰密封材料通常为Viton、PTFE、无氧铜等
法兰通常为304、316不锈钢等。
2、ISO-KF真空法兰:
ISO-KF是应用在真空系统中的一种快卸法兰。他由以下几个元件构成:两个成对称分布的KF法兰、O-Ring、定心支架、卡箍。勿需使用别的工具,只要简单地用手拧动碟形螺母就可以松开或压紧联接。
ISO-KF真空接头是小尺寸的快装法兰接头,公称直径尺寸包括:DN10, 16, 25, 40, 50。
制造标准包括:DIN28403,ISO2861
适用的真空度高达:10-8mbar。
法兰密封材料通常为:Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、铝等
法兰通常为:304、316不锈钢等
ISO-KF 真空接头通常由法兰(flang)、快夹(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位环(centeringring)组成。
3、ISO真空法兰:
ISO法兰和配管可用于从大气压到高真空,经常装拆的各种应用中。一般管子的直径超过50mm(2英寸)。如果使用氟橡胶O形圈,可以承受150℃烘烤。
ISO-K和ISO-F真空接头是大尺寸的真空接头,公称直径尺寸包括:DN63、100、160、200、250、320、400、500 和630。
ISO法兰常用的两种形式是ISO-K和ISO-F。
制造标准包括:DIN28404 ,ISO 1609
可应用在要求真空度高达10-8mbar的场合
法兰密封材料通常为Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、铝丝等
法兰通常为304、316不锈钢等
A、ISO-K真空接头通常由法兰(flang)、法兰爪(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位环(centeringring)组成。
B、ISO-F真空接头通常由法兰(flang)、密封圈(O-Ring)、中心定位环(centeringring)组成,与ISO-K不同的地方是法兰用螺栓坚固。
4 、NW系列:
NW同样是用在高真空系统中的真空配件,是日本的规范,所以NW的真空配件在日企或者日本设备里面用到的相对来说多一些。前面我们说过,ISO系列的是两片ISO的法兰片和四个双卡钩进行连接,而NW的链接方式是两片NW的法兰在一起,用链式卡箍进行连接(N63的法兰外观上就是大一号的NW50的法兰)。
GU型高真空(压力)球阀操作应用案例高真空球阀的特点
优异的密封性能
真空密封采用金属密封(如焊接金属波纹管)或弹性密封(如氟橡胶、PTFE),在高真空下可实现零泄漏。
进口高真空球阀的结构组成
耐高真空
适用于10⁻¹~10⁻⁸ Pa的真空度,甚至更高的超高真空条件。
结构紧凑
阀体小巧,适合高真空系统的紧凑布局。
耐腐蚀性强
阀体多采用不锈钢制造,能够抵抗真空环境下腐蚀性气体的影响。
操作灵活
可手动、电动或气动控制,启闭迅速。
低排气率
材料经过特殊处理,减少阀体内表面和密封件的排气量,提高真空系统稳定性。
长寿命设计
使用寿命长,密封性能稳定可靠,适合频繁开关操作。
阀体
通常采用不锈钢材料,满足高真空及腐蚀性介质的要求。
球体
精密加工的不锈钢球体,确保高真空环境下的低摩擦和高密封性。
阀座
根据需求选用金属密封或软密封(如PTFE、氟橡胶)。
阀杆
防吹出设计,传递扭矩实现启闭,采用真空密封设计。
密封件
金属波纹管、弹性密封圈等材料,确保真空下的零泄漏。
驱动装置
可选手动操作、电动执行器或气动执行器,实现自动化控制。
接口类型
可配CF法兰、KF法兰、ISO法兰或真空焊接接口,适应不同的真空系统。
GU型高真空(压力)球阀操作应用案例的工作原理
启闭控制
通过手柄、气动或电动执行器驱动阀杆,旋转球体90°实现管路的启闭控制。
密封保持
在关闭状态,球体与阀座贴合,配合真空密封件,阻止真空泄漏。
全开状态
球体流道与管道流道对齐,确保气流畅通,保持真空系统的高效运行。
GU型高真空(压力)球阀操作应用案例的优点
适用范围广
能满足高真空、超高真空以及少量正压工况。
密封可靠性高
真空密封技术确保零泄漏,保障系统稳定性。
耐用性强
经过抛光处理和真空脱气处理的部件,能长期工作在高真空环境。
操作便捷
手动和自动化控制选择灵活,满足不同真空系统需求。
低维护成本
高精度制造与优质材料,减少了长期维护的频率和成本。
进口高真空球阀的应用领域
半导体制造
适用于真空镀膜设备、刻蚀机等高真空环境。
光电行业
用于真空光学设备、激光真空系统。
科研实验室
真空实验设备中的流量切断或切换控制。
航天领域
用于航天器真空测试系统和模拟高真空条件。
精密制造
涉及真空封装和真空热处理的设备。
核工业
高真空系统中的流体控制和安全切断。
GU型高真空(压力)球阀操作应用案例的选型要点
真空度要求
根据系统要求选择适应的真空范围(如高真空或超高真空)。
密封形式
金属密封:适用于高温、超高真空等苛刻工况。
软密封:适用于中低真空系统,性价比高。
材质选择
通常选择304、316L不锈钢,必要时选择耐腐蚀合金。
接口方式
根据系统管路接口选择CF、KF、ISO法兰或真空焊接。
驱动方式
手动适合简单系统,气动或电动适用于自动化系统。
工作温度
确保阀门材质和密封件耐高温性能满足实际工况需求。
GU型高真空(压力)球阀操作应用案例的维护保养
清洁保养
定期清理阀体内表面和球体,防止污染物影响密封性能。
润滑处理
使用真空专用润滑剂,减少球体与阀座的磨损。
密封件更换
发现密封件老化或损坏时,及时更换以确保真空度。
表面防腐
阀门外表面需定期清洁,以防腐蚀性气体导致的损坏。
动作检查
定期测试阀门启闭灵活性,确保球体、阀杆运行正常。
GU型高真空(压力)球阀操作应用案例总结
进口高真空球阀是高真空系统中的关键部件,其优异的密封性、耐高真空性能和适应性,使其能够满足多种工业及科研领域的应用需求。合理选型和科学维护,可显著提升真空系统的效率与安全性。
GU型高真空(压力)球阀主要技术性能
阀门漏率: | ≤1.3x10-5 Pa.L/S |
适用温度: | -30~+150℃ |
-30~+300℃(PPL密封) | |
适用范围: | |
连接型式 | 使用压力范围(Pa) |
活套法兰(GB6070) | 0.6x106-6.7x10-5 |
焊接法兰(GB6070) | 1.6x106-6.7x10-5 |
快卸法兰(GB4982/ISO-KF) | 105-6.7x10-5 |
螺纹连接 | 1.6x106-6.7x10-5 |
安装状态: | 任意 |
主要零件材料
阀体、球芯、阀杆: | 不锈钢 |
密封件: | 四氟乙烯、氟橡胶、PPL. |
GU型高真空(压力)球阀外形及连接尺寸(mm)
螺纹连接的外形及连接尺寸(图一)
Model | DN | G | H | E | L |
型号 | |||||
GU-10(G) | 10 | 1/4" | 52 | 105 | 68 |
GU-16(G) | 16 | 1/2" | 64 | 130 | 72 |
GU-20(G) | 20 | 3/4" | 67 | 130 | 82 |
GU-25(G) | 25 | 1" | 83 | 165 | 90 |
GU-32(G) | 32 | 1-1/4" | 89 | 165 | 112 |
GU-40(G) | 40 | 1-1/2" | 100 | 190 | 120 |
GU-50(G) | 50 | 2" | 125 | 190 | 145 |
GU-63(G) | 63 | 2-1/2" | 150 | 250 | 185 |
GU-80(G) | 80 | 3" | 161 | 250 | 210 |
活套法兰连接(GB6070)(图二)
Model | DN | D | Do | H | E | L | n-φc |
型号 | |||||||
GU-10(F) | 10 | 55 | 40 | 52 | 105 | 84 | 4-φ6.6 |
GU-16(F) | 16 | 60 | 45 | 64 | 130 | 84 | 4-φ6.6 |
GU-20(F) | 20 | 65 | 50 | 67 | 130 | 114 | 4-φ6.6 |
GU-25(F) | 25 | 70 | 55 | 83 | 165 | 114 | 4-φ6.6 |
GU-32(F) | 32 | 90 | 70 | 89 | 165 | 140 | 4-φ9 |
GU-40(F) | 40 | 100 | 80 | 100 | 190 | 160 | 4-φ9 |
GU-50(F) | 50 | 110 | 90 | 125 | 190 | 170 | 4-φ9 |
GU-63(F) | 63 | 130 | 110 | 150 | 250 | 195 | 4-φ9 |
GU-80(F) | 80 | 145 | 125 | 161 | 250 | 220 | 8-φ9 |
GU-100(F) | 100 | 165 | 145 | 180 | 280 | 280 | 8-φ9 |
快卸法兰连接(GB4982)(图三)
Model | DN | D1 | D | H | E | L |
型号 | ||||||
GU-10(KF) | 10 | 12.2 | 30 | 52 | 105 | 84 |
GU-16(KF) | 16 | 17.2 | 30 | 64 | 130 | 84 |
GU-25(KF) | 25 | 26.2 | 40 | 83 | 165 | 114 |
GU-32(KF) | 32 | 34.2 | 55 | 89 | 165 | 140 |
GU-40(KF) | 40 | 41.2 | 55 | 100 | 190 | 160 |
GU-50(KF) | 50 | 52.2 | 75 | 125 | 190 | 170 |
焊接式球阀外形及连接尺寸(图四)
Model | DN | D | H | E | L |
型号 | |||||
GU-10H | 10 | 17.5 | 52 | 105 | 94 |
GU-16H | 16 | 22.7 | 64 | 130 | 104 |
GU-20H | 20 | 30 | 67 | 130 | 114 |
GU-25H | 25 | 33.5 | 83 | 165 | 114 |
GU-32H | 32 | 42 | 89 | 165 | 140 |
GU-40H | 40 | 48.5 | 100 | 190 | 160 |
GU-50H | 50 | 60.5 | 125 | 190 | 170 |
GU-63H | 63 | 76.5 | 150 | 250 | 195 |
GU-80H | 80 | 90 | 161 | 250 | 203 |
GU-100H | 100 | 106.5 | 180 | 280 | 280 |
球阀安装全攻略:预备工作、详细步骤及使用须知
在阀门行业中,球阀的安装与使用是每位从业者必须掌握的技能。那么,如何正确安装球阀?在安装前又需做好哪些准备工作呢?同时,在使用过程中又有哪些事项需要我们特别留意呢?接下来,我们将为您一一解答这些问题,助您轻松掌握球阀的安装与使用技巧。
GU型高真空(压力)球阀操作应用案例安装前的准备
确保前后管道同轴,两法兰密封面平行。管道需能承受球阀重量,否则应配适当支撑。
吹扫阀前后管线,清除油污、焊渣及其他杂质。
核对球阀标志,确认完好无损。多次开关以验证其性能。
移除球阀两端连接法兰的保护件。
检查并清洗阀孔,确保无异物,以防损伤阀座密封面。
球阀安装步骤
将球阀装上管线,注意任何一端都可装在上游端。手柄驱动的球阀可任意位置安装,但齿轮箱或气动球阀应直立安装,即驱动装置在上方。
在阀法兰与管线法兰间装上密封垫,按管路设计要求进行。
逐次、对称、均匀地拧紧法兰上的螺栓。
若采用气动驱动器,需连接气动管线。
球阀安装后检查
操作驱动器多次启闭球阀,确保灵活无卡涩。
按管路设计要求检查管道与球阀间法兰结合面的密封性能。
GU型高真空(压力)球阀操作应用案例的使用注意事项
拆卸分解前必须确认球阀上、下游管道已卸压。
清洗非金属零件后应立即取出,避免长时间浸泡。
装配时螺栓需对称、逐步、均匀地拧紧。
使用与球阀中零件及工作介质相容的清洗剂。若工作介质为燃气,可用汽油清洗金属件,非金属件用纯净水或酒精清洗。
分解下来的零件可用浸洗方式清洗,金属件可用浸渍有清洗剂的绸布擦洗,以确保去除所有油脂、污垢等。
6、在分解和再装配球阀时,必须格外小心,以免损伤任何零件的密封面,特别是非金属零件。当取出O型圈时,建议使用专用工具以确保操作正确。
7、清洗完成后,需要等待被洗壁面的清洗剂挥发(可以用未浸清洗剂的绸布擦拭确认)。但请注意,清洗后的零件不得长时间搁置,以防生锈或被灰尘污染。
8、在装配新零件之前,也必须确保它们已经清洗干净。
9、润滑是装配过程中的一环。应使用与球阀金属材料、橡胶件、塑料件及工作介质均相容的润滑脂。例如,当工作介质为燃气时,可以选择特221润滑脂。在密封件安装槽、橡胶密封件以及阀杆的密封面和摩擦面上,都应涂抹一层薄润滑脂。
10、装配过程中,应确保零件表面上或内腔中没有任何金属碎屑、纤维、油脂(除非是规定使用的)、灰尘及其它杂质或异物,以避免污染或粘附。