GUQ气动高真空压力球阀技术规范

GUQ气动高真空压力球阀技术规范

气动高真空球阀通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸来驱动球阀，达到接通或切断真空(压力)系统管道路中的介质流。应用于真空、乳制品、酒业、生物工程、食品、制药、饮料、化妆品及化工领域。可选配反馈信号装置及电气阀门定位器。气动高真空球阀是专为高真空环境（常规真空度≤1×10⁻⁴Pa，特殊可达 1×10⁻⁷Pa）设计，采用真空适配密封结构与高强度材质，搭配气动执行器，通过压缩空气驱动球体旋转 90 度，实现真空系统中介质切断或接通的自动化阀门。其核心优势在于 “气动控制 + 高真空密封" 双重功能：气动驱动响应迅速（动作时间≤8 秒），适配真空系统自动化操作；特殊密封设计（如金属波纹管密封、真空级填料密封）可避免空气泄漏破坏真空环境，适配半导体、航天、制药等对真空度要求严苛的工况。需符合 GB/T 12223、JB/T 7545 等标准，保障高真空下的密封可靠性。

GUQ气动高真空压力球阀技术规范关键参数

真空与密封参数：真空度等级分低真空（1×10⁻¹Pa~1×10⁻³Pa）、高真空（1×10⁻⁴Pa~1×10⁻⁶Pa）、超高真空（≤1×10⁻⁷Pa）；密封方式为金属硬密封（如铜合金 - 不锈钢配对，适配超高真空）或真空级软密封（如氟橡胶、硅橡胶，适配高真空，泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s）；部分型号带金属波纹管阀杆密封，避免填料密封的微泄漏，适配超高真空场景。

气动执行器参数：气源压力 0.4MPa~0.6MPa（工业常规压缩空气压力），执行器需做防污染处理（内部润滑脂选用真空兼容型，避免挥发物污染真空系统）；双作用执行器（开关均靠气压，适配连续操作）、单作用执行器（弹簧复位，故障时自动回位至 “关"，防止空气进入破坏真空）；动作时间≤5 秒（DN50 以下）、≤12 秒（DN200 以上）。

基础性能参数：公称通径 DN10~DN300；工作温度 - 40℃~200℃（软密封≤150℃，金属硬密封≤300℃）；阀体材质多为不锈钢 304/316L（耐腐蚀、低放气率，适配真空系统），球体表面抛光处理（Ra≤0.8μm），减少气体吸附与泄漏风险；连接方式为法兰连接（真空法兰，如 KF、ISO 法兰）或焊接连接（减少接头泄漏点）。

一、GUQ气动高真空压力球阀技术规范工作原理

气动真空球阀通过气动执行器（如活塞式或齿轮齿条式）驱动阀杆旋转，带动球体在阀座内转动。当气源压力作用于执行器时，球体旋转90°，使阀门的通孔与管道对齐（全开）或垂直（全关），从而控制介质的通断或流量。其核心特点包括：

快速响应：气动驱动使阀门在数秒内完成开关动作，适合紧急切断或快速调节。

高密封性：采用软密封（如氟橡胶、聚四氟乙烯）或金属密封结构，漏率可低至1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，满足超高真空要求。

耐真空性能：适用于1.3×10⁻⁷～6×10⁵ Pa的真空系统，兼容正、负压力管道。

二、GUQ气动高真空压力球阀技术规范结构特点

阀体与阀座：

阀体材质通常为不锈钢（如304、316L）或铝合金，适应腐蚀性介质。

阀座采用高密封性材料，如氟橡胶（FPM）、聚四氟乙烯（PTFE）或金属密封，确保真空环境下的零泄漏。

球体：

球体表面经过精密加工，与阀座形成高精度密封面。

部分球体设计为V型或特殊形状，可实现线性调节流量。

气动执行机构：

双作用或单作用气缸，支持远程控制。

可选配电磁阀、限位开关、定位器等附件，实现自动化控制。

连接方式：

法兰连接、焊接连接或卡箍连接，适应不同安装需求。

三、GUQ气动高真空压力球阀技术规范技术参数

参数

范围/规格

公称通径 DN10～300mm（可定制更大口径）

公称压力 PN1.6～6.4MPa（可定制更高压力）

工作温度 -30℃～+232℃（取决于密封材料）

泄漏率 <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s（软密封）

电源电压 AC220V/50Hz（其他电压可定制）

控制方式 开关型、调节型（支持4-20mA信号）

防护等级 IP65或更高

四、GUQ气动高真空压力球阀技术规范应用领域

半导体制造：

控制反应室中的气体流量，确保制造过程在真空环境下进行，防止杂质进入影响产品质量。

真空镀膜：

在镀膜室内精确控制气体流量，实现高质量的薄膜沉积。

航空航天：

用于控制飞机和火箭发动机的燃料供应，确保燃料系统的密封性和可靠性。

化工与冶金：

控制高纯度气体或腐蚀性介质的流动，适用于真空反应或冶金过程。

食品、制药与生物工程：

符合GMP标准，用于真空输送、蒸发浓缩、发酵等环节。

五、GUQ气动高真空压力球阀技术规范优势与局限

优势：

高密封性：软密封或金属密封结构，漏率极低。

快速响应：气动驱动，适合紧急切断。

耐腐蚀性：不锈钢阀体和密封材料适应多种介质。

自动化控制：支持远程操作和集成到自动化系统。

局限：

依赖气源：需要稳定的压缩空气供应。

低温限制：在极低温环境下，密封材料可能变硬，影响密封性能。

六、GUQ气动高真空压力球阀技术规范选型与维护

选型建议：

根据介质特性选择阀体材质（如不锈钢、铝合金）。

根据真空度要求选择密封形式（软密封或金属密封）。

根据控制需求选择执行机构类型（双作用或单作用）。

维护要点：

定期检查气动执行器的密封性和电气连接。

清洁阀体内部，防止杂质进入密封面。

定期润滑阀杆和密封件，减少磨损。

七、GUQ气动高真空压力球阀技术规范典型应用案例

半导体行业：在真空镀膜设备中，气动真空球阀用于控制工艺气体的通断，确保镀膜均匀性。

制药行业：在无菌灌装线上，阀门用于控制氮气或洁净空气的输送，防止产品污染。

科研实验：在粒子加速器中，阀门用于控制真空系统的气体流量，确保实验稳定性。

气动真空球阀凭借其高密封性、快速响应和耐真空性能，成为真空系统中不的关键部件。在选型时，需根据介质特性、真空度要求和控制需求综合考虑，以确保阀门的可靠性和使用寿命。

GUQ气动高真空压力球阀技术规范

气动高真空球阀主要技术性能

气动高真空球阀主要零件材料
阀体、阀盖、阀杆：不锈钢
密封件：四氟乙烯、丁腈橡胶、氟橡胶、PPL。
外形及连接尺寸
气动高真空球阀螺纹连接的外形及连接尺寸

气动高真空球阀活套法兰连接(GB6070)

气动高真空球阀快卸法兰连接(GB4982)

气动高真空球阀选型要点

选型先明确真空度需求：超高真空场景选金属波纹管密封 + 金属硬密封，高真空场景可选真空级软密封；其次确认介质特性：腐蚀性介质（如化学气相沉积气体）选 316L 阀体，洁净介质（如半导体工艺气体）选 304 阀体 + 电解抛光表面；接着选择执行器类型：无人值守或真空系统需紧急保压场景选单作用执行器（故障关），常规自动化场景选双作用执行器；然后检查温度适配：温度超 150℃选金属硬密封，常温场景可选软密封；最后确认连接方式：快速拆装选 KF 真空法兰，高真空密封选 ISO 焊接法兰，避免连接不当导致真空泄漏。

气动高真空球阀应用场景

在半导体行业，用于晶圆制造的化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）设备真空管路，316L 阀体 + 金属波纹管密封保障超高真空环境，气动驱动实现工艺自动化切换，避免晶圆污染；航天领域，用于卫星真空测试舱、火箭推进系统真空管路，超高真空密封（≤1×10⁻⁷Pa）适配太空模拟环境，气动控制减少人工操作对真空系统的干扰；制药行业，用于真空干燥机、冻干机管路，不锈钢阀体 + 真空级软密封符合 GMP 标准，避免药物交叉污染，气动驱动适配无菌生产流程；科研领域，用于实验室高能物理实验装置、真空镀膜机管路，高真空密封保障实验精度，气动控制实现远程操作；此外，在电子（真空封装）、食品（真空冻干）等领域，也用于高真空系统介质控制，确保生产与实验的稳定性。

气动高真空球阀与相似产品比较

与普通气动球阀比较：气动高真空球阀具备高真空密封结构，泄漏率低（≤1×10⁻⁹Pa・m³/s），适配真空环境；普通气动球阀泄漏率高（≥1×10⁻³Pa・m³/s），无法维持真空度，仅适合常压系统，两者按系统压力（真空 / 常压）划分适用范围。

与电动高真空球阀比较：气动高真空球阀无需电力，无电机挥发物污染真空系统，适合洁净真空场景（如半导体工艺），动作更快（≤8 秒 vs 电动≤12 秒）；电动高真空球阀需供电，适合无压缩空气、需精准电控的真空场景（如实验室精密设备），但电机可能产生微污染，两者按动力源与真空洁净需求划分适用范围。

一、安装前注意事项

1、保证气动真空球阀安装位置管线在同轴位置上，管线上两片法兰应保持平行，确认管线能够承受气动真空球阀自身重量，如果发现管线不能承受气动真空球阀重量，则在安装前为管线配备相应的支撑。

2、确认管线内是否有杂质、焊渣等，必须要把管线内吹扫干净。

3、核对气动真空球阀铭牌，并对气动真空球阀进行全开全闭数次操作，确认阀门能够正常工作，再全面检查一次阀门的各个细节，保证阀门完好无损。

4、除去两端的保护盖，检查阀体内是否干净，清洗阀体内腔，由于气动真空球阀的密封面是球形状，即使微小的杂物也可能造成密封面的损伤。

二、GUQ气动高真空压力球阀技术规范安装步骤

1、气动真空球阀的任何一段都可安装在上游端，手柄气动管路球阀可以安装在管线的任何位置，如果配置(如齿轮箱、电-气动执行器)的气动真空球阀，则必须垂直安装，阀门进出口处在水平位置上。

2、气动真空球阀法兰与管线法兰间按管路设计要求装上密封垫。

3、法兰上的螺栓需对称、逐次、均匀拧紧。

4、气动真空球阀采取气动执行器时，按说明书完成气源的安装。

三、GUQ气动高真空压力球阀技术规范安装后的检查

1、安装完毕后，启动气动真空球阀开、关数次，应该动作灵活，受力均匀，气动真空球阀工作正常。

2、根据管道压力设计要求，通压后检测气动真空球阀与管道法兰结合面的密封性能。

气动真空球阀除了安装过程中的要点，安装前和安装后的注意实事项一样重要，需要认真完成!